円軌道フェーシング、フェーシング スライダーの真直性アライメント機能、水冷式静圧空気軸受等を搭載したラッピング装置の制御盤を開発しました。

制御概要

　高精度の研磨を要求されるLED製造用のサファイヤウェーハやパワーデバイス用のウェーハ研磨装置で、最新のアプリケーションシステムを搭載しています。高精度自動ラッピング装置で、フェーシングユニットの制御、真空吸着したウェーハを2枚同時に加圧、強制駆動、揺動を行える装置となっています。シーケンサで制御を行い、高度な精度要求までも対応をしました。

開発情報

対応OSWindows XP、Vista、7のみ動作確認済み
開発環境VisualSutudio2010　Visual C#にて開発

当社請負内容

電気回路設計制御部分全ての電気回路の設計
ソフトウェア設計PLCソフト(ラダー)製作、タッチパネル画面製作
制御・操作盤の製作部品選定・板金図作成・盤製作